- Культура. Искусство
- Психология
- Домашние ремесла. Рукоделие
- Растениеводство
- Коллекционирование
- Публицистика
- Эзотерика. Парапсихология
- Медицина и здоровье
- История. Исторические науки
- Филологические науки
- Развлечения. Праздники
- Экономика. Бизнес
- Книги для родителей
- Кулинария
- Охота. Рыбалка. Собирательство
- Секс. Камасутра
- Туризм. Путеводители. Транспорт
- Философские науки. Социология
- Уход за животными
- Ремонт. Строительство. Интерьер
- Естественные науки
- Информационные технологии
- Фитнес. Спорт. Самооборона
- Красота. Этикет
- Государство и право. Юриспруденция
Fundamental Principles of Optical Lithography; John Wiley & Sons Limited
- Издатель: John Wiley & Sons Limited
- ISBN: 9780470723869
- Книги: Техническая литература
- ID:6517854
Цены
Последняя известная цена от 722 р. до 722 р. в 1 магазинах
Вы можете поискать его на других площадках:
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Описание
The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components. By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate. This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter. Additional Information: Visiting enhances the reader's understanding as the website supplies information on how you can download a free laboratory manual, Optical Lithography Modelling with MATLAB®, to accompany the textbook. You can also contact the author and find help for instructors.
Смотри также о книге.
О книге
Параметр | Значение |
---|---|
Автор(ы) | Chris Mack |
Издатель | John Wiley & Sons Limited |
ISBN | 978-0-470-72386-9 |
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Технические науки John Wiley & Sons Limited
Категория 578 р. - 867 р.