Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing. Fundamentals and Applications; John Wiley & Sons Limited

  • Издатель: John Wiley & Sons Limited
  • ISBN: 9781118071731
  • Книги: Техническая литература
  • ID:5984090
Где купить

Цены

Последняя известная цена от 838 р. до 838 р. в 1 магазинах

В данный момент у нас нет информации о наличии данного товара в магазинах.
Вы можете поискать его на других площадках:

МагазинЦенаНаличие
Крупнейшая в Беларуси оптовая и розничная торговая сеть строительных материалов и инструментов
Мы предлагаем профессиональную консультацию, вежливое обслуживание, честные цены и быструю и аккуратную доставку
Промокоды на скидку
Мы трудимся, чтобы предложить максимальный выбор: товаров, способов оплаты, вариантов доставки — и лучший сервис
Промокоды на скидку
24shop - это возможность приобрести все необходимое в одном месте
Домотехника
5/5
Быстрая доставка. Мы доставляем товар по всей Беларуси в удобное для вас время
Заказ от 800 рублей мы привезем бесплатно!
Яндекс.Маркет
5/5
Промокоды на скидку

Описание

This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation. The theory and fundamental physics associated with wet etching and wet cleaning is reviewed, plus the surface and colloidal aspects of wet processing. Formulation development practices and methodology are presented along with the applications for preventing copper corrosion, cleaning aluminum lines, and other sensitive layers. This is a must-have reference for any engineer or manager associated with using or supplying cleaning and contamination free technologies for semiconductor manufacturing. From the Reviews… «This handbook will be a valuable resource for many academic libraries. Many engineering librarians who work with a variety of programs (including, but not limited to Materials Engineering) should include this work in their collection. My recommendation is to add this work to any collection that serves a campus with a materials/manufacturing/electrical/computer engineering programs and campuses with departments of physics and/or chemistry with large graduate-level enrollment.» —Randy Wallace, Department Head, Discovery Park Library, University of North Texas

Смотри также о книге.

О книге


ПараметрЗначение
Автор(ы)
ИздательJohn Wiley & Sons Limited
ISBN978-1-118-07173-1


Отзывы (0)


Зарегистрируйтесь и получайте бонусы за покупки!


Книги: Технические науки John Wiley & Sons Limited

Категория 670 р. - 1005 р.

закладки (0) сравнение (0)

122 ms