- Культура. Искусство
- Психология
- Домашние ремесла. Рукоделие
- Растениеводство
- Коллекционирование
- Публицистика
- Эзотерика. Парапсихология
- Медицина и здоровье
- История. Исторические науки
- Филологические науки
- Развлечения. Праздники
- Экономика. Бизнес
- Книги для родителей
- Кулинария
- Охота. Рыбалка. Собирательство
- Секс. Камасутра
- Туризм. Путеводители. Транспорт
- Философские науки. Социология
- Уход за животными
- Ремонт. Строительство. Интерьер
- Естественные науки
- Информационные технологии
- Фитнес. Спорт. Самооборона
- Красота. Этикет
- Государство и право. Юриспруденция
Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing. Fundamentals and Applications; John Wiley & Sons Limited
- Издатель: John Wiley & Sons Limited
- ISBN: 9781118071731
- Книги: Техническая литература
- ID:5984090
Цены
Последняя известная цена от 838 р. до 838 р. в 1 магазинах
Вы можете поискать его на других площадках:
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Описание
This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation. The theory and fundamental physics associated with wet etching and wet cleaning is reviewed, plus the surface and colloidal aspects of wet processing. Formulation development practices and methodology are presented along with the applications for preventing copper corrosion, cleaning aluminum lines, and other sensitive layers. This is a must-have reference for any engineer or manager associated with using or supplying cleaning and contamination free technologies for semiconductor manufacturing. From the Reviews… «This handbook will be a valuable resource for many academic libraries. Many engineering librarians who work with a variety of programs (including, but not limited to Materials Engineering) should include this work in their collection. My recommendation is to add this work to any collection that serves a campus with a materials/manufacturing/electrical/computer engineering programs and campuses with departments of physics and/or chemistry with large graduate-level enrollment.» —Randy Wallace, Department Head, Discovery Park Library, University of North Texas
Смотри также о книге.
О книге
Параметр | Значение |
---|---|
Автор(ы) | Reinhardt Karen A. |
Издатель | John Wiley & Sons Limited |
ISBN | 978-1-118-07173-1 |
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Технические науки John Wiley & Sons Limited
Категория 670 р. - 1005 р.