Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие; Лаборатория знаний, 2018

Издатель: Лаборатория знаний
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Книги: Электротехника. Электроника
ID:1794515

Где купить

Рейтинг:

(0/5)

Отзывы (0) Оставить отзыв

Описание Характеристики Цены Отзывы (0)

Сравнить цены

Последняя известная цена от 17 р. до 27 р. в 5 магазинах

В данный момент у нас нет информации о наличии данного товара в магазинах.
Вы можете поискать его на других площадках:

Магазин	Цена	Наличие
Лабиринт 5/5 ООО "ЛАБИРИНТ.РУ" ИНН: 7728644571	Заказ от 800 рублей мы привезем бесплатно!	Наличие уточняйте 13.04.2023

OMA BY 5/5 Информация о компании	Крупнейшая в Беларуси оптовая и розничная торговая сеть строительных материалов и инструментов

Algo BY 5/5 Информация о компании	Мы предлагаем профессиональную консультацию, вежливое обслуживание, честные цены и быструю и аккуратную доставку ✔ Промокоды на скидку

OZ BY 5/5 Информация о компании	Мы трудимся, чтобы предложить максимальный выбор: товаров, способов оплаты, вариантов доставки — и лучший сервис ✔ Промокоды на скидку

24shop BY 5/5 Информация о компании	24shop - это возможность приобрести все необходимое в одном месте

Домотехника 5/5 Информация о компании

21vek BY 5/5 Информация о компании	Быстрая доставка. Мы доставляем товар по всей Беларуси в удобное для вас время

Яндекс.Маркет 5/5 ООО "ЯНДЕКС" ИНН: 7736207543	✔ Промокоды на скидку

Описание

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микродлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумио-гехнических требований к проведению этих процессов, приведены меходы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять харакгер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии н оборудования

.Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлекгроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Смотри также о книге.

О книге

Параметр	Значение
Переплет	Твердый переплёт
Издатель	Лаборатория знаний
Год издания	2018
Возрастные ограничения	12
Кол-во страниц	283
Серия	Нанотехнологии
Автор(ы)	Галперин Вячеслав Александрович, Данилкин Евгений Владимирович, Мочалов Алексей Иванович
Раздел	Основы производства
ISBN	978-5-9963-0032-7
Количество страниц	283
Формат	60х90/16
Вес	0.40кг
Страниц	283
Переплёт	твердый
Размеры	21,50 см × 14,50 см × 1,30 см
Тематика	Энергетика
Тираж	770