Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование; ИД Интеллект, 2016

Издатель: Интеллект групп
ISBN: 978-5-91559-215-4
Книги: Радиоэлектроника. Связь
ID:1764662

Где купить

Рейтинг:

(0/5)

Отзывы (0) Оставить отзыв

Описание Характеристики Цены Отзывы (0)

Сравнить цены

Последняя известная цена от 53 р. до 100 р. в 4 магазинах

В данный момент у нас нет информации о наличии данного товара в магазинах.
Вы можете поискать его на других площадках:

Магазин	Цена	Наличие
Лабиринт 5/5 ООО "ЛАБИРИНТ.РУ" ИНН: 7728644571	Заказ от 800 рублей мы привезем бесплатно!	Наличие уточняйте

OMA BY 5/5 Информация о компании	Крупнейшая в Беларуси оптовая и розничная торговая сеть строительных материалов и инструментов

Algo BY 5/5 Информация о компании	Мы предлагаем профессиональную консультацию, вежливое обслуживание, честные цены и быструю и аккуратную доставку ✔ Промокоды на скидку

OZ BY 5/5 Информация о компании	Мы трудимся, чтобы предложить максимальный выбор: товаров, способов оплаты, вариантов доставки — и лучший сервис ✔ Промокоды на скидку

24shop BY 5/5 Информация о компании	24shop - это возможность приобрести все необходимое в одном месте

Домотехника 5/5 Информация о компании

21vek BY 5/5 Информация о компании	Быстрая доставка. Мы доставляем товар по всей Беларуси в удобное для вас время

Яндекс.Маркет 5/5 ООО "ЯНДЕКС" ИНН: 7736207543	✔ Промокоды на скидку

Описание

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.

Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.

Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.

Смотри также о книге.

О книге

Параметр	Значение
Автор(ы)	Киреев Валерий Юрьевич
Издатель	ИД Интеллект
Год издания	2016
Кол-во страниц	320
Переплет	Твердая глянцевая
Возрастные ограничения	12
Страниц	320
Переплёт	твердый
ISBN	978-5-91559-215-4
Размеры	14,50 см × 21,60 см × 2,00 см
Формат	145x216мм
Тематика	Автоматика. Телемеханика
Раздел	Радиоэлектроника
Количество страниц	320
Вес	0.52кг