- Радиоэлектроника. Связь
- Метрология, стандартизация и сертификация
- Горная промышленность. Металлургия
- Энергетика
- Машиностроение. Приборостроение
- Автоматика. Вычислительная техника
- Транспорт
- Легкая промышленность
- Пищевая промышленность
- Полиграфия
- Строительство. Коммунальное хозяйство
- Робототехника и контроллеры
- Ремонт бытовых приборов
О книге: Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 и 2; Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2018
- Издатель: Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана
- ISBN: 978-5-7038-4864-7
EAN: 9785703848647
- Книги: Электроника
- ID:7709894
О книге
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Автор(ы) | Цветков Юрий Борисович |
| Издатель | Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана |
| Год издания | 2018 |
| Возрастные ограничения | 12 |
| Кол-во страниц | 124 |
| Страниц | 122 |
| ISBN | 978-5-7038-4864-7 |
| Размеры | 16,50 см × 23,50 см × 0,70 см |
| Формат | 165x235мм |
| Тематика | Автоматика. Телемеханика |
| Тираж | 100 |
| Обложка | мягкая обложка |
| Раздел | Радиоэлектроника |
| Количество страниц | 122 |
| Вес | 0.21кг |
Сравнить цены
Последняя известная цена от 4 р. до 40 р. в 8 магазинах
Вы можете поискать его на других площадках:
| Магазин | Цена | Наличие |
|---|---|---|
Описание
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Смотри также о книге.
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Электротехника. Электроника
Категория 3 р. - 5 р.
Книги: Электротехника. Электроника: другие издатели
- BHV
- RUGRAM
- Альтекс
- БХВ
- БХВ-Петербург
- Век+
- Вышэйшая школа
- Грифон
- Директмедиа Паблишинг
- ДМК
- ДМК Пресс
- ДМК-Пресс
- Додека XXI век
- Додэка - XXI
- Додэка XXI
- ИД Интеллект
- Издательство ЛАНЬ
- Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана
- Инфра-Инженерия
- ИНФРА-М
- Книга по требованию
- Кнорус
- Лань
- ЛКИ, Техносфера
- МК-Пресс
- Наука и Техника
- ПИТЕР
- Радиософт
- Солон-пресс
- Техносфера
- Учитель
- Феникс
- Форум
- Эксмо, Бомбора
- Юрайт-Издат